TY  - BOOK
AU  - Воротынцев, В. М.
AU  - Перевощиков, В. А.
AU  - Скупов, В. Д.
TI  - Базовые технологии микро- и наноэлектроники
SN  - 5-93272-364-5
PY  - 2006///
CY  - Нижний Новгород
PB  - Нижегородский государственный технический университет
KW  - Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Производство
KW  - RU\NLR\auth\66830354
KW  - Наноструктуры
KW  - RU\NLR\auth\661260103
KW  - З844.1-06я73-1
N2  - Библиогр. в конце разделов
ER  -