TY  - BOOK
AU  - Френкель, И.И.
TI  - Нанесения тонких пленок в вакууме
T2  - Министерство электронной промышленности СССР. Институт "Электроника". Тематический указатель литературы
VL  - Вып. 152 [1]Вып. 3
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
ER  -