TY  - BOOK
AU  - Богородицкий, А.А.
AU  - Рыжевский, А.Г.
TI  - Контроль производства микросхем
T2  - Обзорная информация
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИТЭИприборостроения
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные
KW  - Производство
KW  - Обзоры литературы информационные
KW  - Технический контроль
KW  - psbo
KW  - з844.1-07,0
KW  - rubbk
N2  - Библиогр.: с. 61-64 (59 назв.)
ER  -