TY  - BOOK
AU  - Бородина, С.В.
TI  - Новые возможности применения лазеров в технологии изготовления полупроводниковых изделий
T2  - Радиоэлектроника за рубежом
VL  - Вып. 7 (901)
PY  - 1980///
CY  - М.
PB  - НИИЭИР
N2  - Библиогр.: с. 42-43; На обл. только загл. сер
ER  -