TY  - BOOK
AU  - Парменов, Ю.А.
ED  - Московский ин-т электронной техники
TI  - Физика, технология и моделирование СБИС
PY  - 1990///
CY  - М.
PB  - МИЭТ
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -