@book{6637996,
	author = {Пинес, Г.Э. and Рокицкая, Я.П.},
	title = {Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии},
	publisher = {Б. и.},
	year = {1971},
	series = {Министерство электронной промышленности СССР. Институт "Электроника". Тематические указатели литературы},
	address = {Москва},
	note = {На обл. сост. не указаны}
}