01094nam1a22002531i 4500 rc\3569357 20240723222210.0 (NLR Aleph) 007690670 6637996 6637996 20130115d1971 |||y0rusy50 ca rus RU y z ||||| Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии Сост.: Пинес Г.Э., Рокицкая Я.П. Ч. 2- Москва Б. и. 1971 21 Министерство электронной промышленности СССР. Институт "Электроника". Тематические указатели литературы ТУЛ Серия: Полупроводниковые приборы На обл. сост. не указаны Пинес Г.Э. 220 Рокицкая Я.П. 220 RU NLR psbo RU ELAR rusmarc NLR С315-410/Т-32 BOOK