TY  - BOOK
AU  - Пинес, Г.Э.
AU  - Рокицкая, Я.П.
TI  - Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии
T2  - Министерство электронной промышленности СССР. Институт "Электроника". Тематические указатели литературы
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
ER  -