TY - BOOK ED - "Методология и опыт создания САПР комплексов специального технологического оборудования и систем управления производством в микроэлектронике", научно-техническая конференция TI - Материалы научно-технической конференции "Методология и опыт создания САПР комплексов специального технологического оборудования и систем управления производством в микроэлектронике" PY - 1984/// CY - М. PB - ЦНИИ информ. и техн.-экон. исслед. приборостроения, средств автоматизации и систем упр. ER -