TY - BOOK ED - Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова ED - Всесоюзная конф. по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок TI - Рост полупроводниковых кристаллов и пленок PY - 1984///- CY - Новосибирск PB - Наука. Сиб. отд-ние ER -