TY  - BOOK
AU  - Орион, Б. В.
AU  - Скворцов, И. М.
AU  - Лапидус, И. И.
TI  - Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Полупроводниковые соединения
KW  - Получение
KW  - psbo
KW  - з852-060.7,0
KW  - rubbk
KW  - з844.1-060.7,0
N2  - Список лит.: с. 129-134 (113 назв.)
ER  -