TY  - BOOK
AU  - Шаблов, В.И.
AU  - Беркушкина, Е.И.
AU  - Шарова, З.М.
TI  - Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 139Вып. 8
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 27-28
ER  -