TY  - BOOK
AU  - Пинес, Г.Э.
AU  - Рокицкая, Я.П.
TI  - Ионно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии
T2  - Министерство электронной промышленности СССР. Институт "Электроники". Тематические указатели литературы
VL  - Вып. 1342 [1]
PY  - 1970///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Использованные источники: с. 50-51
ER  -