TY  - BOOK
AU  - Валиев, К. А.
AU  - Махвиладзе, Т. М.
AU  - Сарычев, М. Е.
TI  - Модель плазмохимического травления полимеров
T2  - Препринт
VL  - № 45
PY  - 1985///
CY  - М.
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 29-30
ER  -