@book{6798112,
	author = {Перевощиков, В.А. and Скупов, В.Д.},
	title = {Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников},
	publisher = {Изд-во Нижегород. ун-та},
	year = {1992},
	address = {Н. Новгород}
}