TY  - BOOK
AU  - Перевощиков, В.А.
AU  - Скупов, В.Д.
TI  - Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников
SN  - 5-230-04179-X
PY  - 1992///
CY  - Н. Новгород
PB  - Изд-во Нижегород. ун-та
N2  - Библиогр.: с. 189-196 (134 назв.)
ER  -