TY  - BOOK
AU  - Клисторин, И.Ф.
ED  - Кишиневский политехнический институт им. С. Лазо
TI  - Полупроводниковые структуры и средства управления технологическим и процессами
PY  - 1979///
CY  - Кишинев
PB  - Штиинца
KW  - Полупроводники
KW  - Производство
KW  - Сборники
KW  - Автоматизация
KW  - psbo
KW  - з843.308я43
KW  - rubbk
N2  - Библиогр. в конце статей
ER  -