TY  - BOOK
AU  - Тихонов, Ю.Н.
TI  - Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - МИРЭА
KW  - Полупроводники
KW  - Производство
KW  - psbo
KW  - Микроэлектронные схемы
KW  - з844-022я77-1
KW  - rubbk
KW  - з843.308.77-1
N2  - Список лит. в конце кн. (11 назв.)
ER  -