TY  - BOOK
AU  - Чистяков, Ю.Д.
AU  - Райнова, Ю.П.
TI  - Физико-химические основы эпитаксиальных процессов
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные
KW  - Производство
KW  - psbo
KW  - В379.251я73-1
KW  - rubbk
N2  - Список лит.: с. 96 (11 назв.)
ER  -