TY  - BOOK
AU  - Готра, З.Ю.
TI  - Технология микроэлектронных устройств
SN  - 5-256-00699-1
PY  - 1991///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
N2  - Библиогр.: с. 526 (22 назв.)
ER  -