TY  - BOOK
AU  - Докучаев, Ю.П.
AU  - Разгуляев, И.И.
TI  - Использование метода каналирования для исследования поверхностных ионнолегированных слоев в полупроводниках
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 232Вып. 11
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 49-52
ER  -