@book{6906412,
	author = {Беломестнов, Е. М. and Зотов, В. Д.},
	title = {Технология производства полупроводниковых оптико-электронных приборов},
	publisher = {МИРЭА},
	year = {1977},
	address = {Москва},
	note = {В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики}
}