TY  - BOOK
AU  - Бекишева, А.М.
AU  - Дагман, Э.Е.
AU  - Тишковский, Е.Г.
TI  - Моделирование процессов имплантации в многослойные структуры
T2  - Препринт
VL  - 9
PY  - 1987///
CY  - Новосибирск
PB  - Ин-т физики полупроводников
N2  - Библиогр.: с. 35-36
ER  -