TY  - BOOK
ED  - "Физические и физ.-хим. основы ионной имплантации", всероссийский семинар
TI  - По материалам IV Всероссийского семинара "Физические и физико-химические основы ионной имплантации", Нижний Новгород, 9-11 июня 1998 г
T2  - Вестник Нижегородского университета имени Н.И. Лобачевского
VL  - Вып. 2
SN  - 5-85746-439-01
PY  - 1998///
CY  - Н. Новгород
PB  - Изд-во ННГУ
N2  - Библиогр. в конце докл
ER  -