TY  - BOOK
AU  - Гуляев, Ю.В.
AU  - Яфаров, Р.К.
TI  - Энергетические и конструктивные особенности установок СВЧ вакуумно-плазменного травления для создания устройств функциональной электроники с субмикронными размерами элементов
T2  - Препринт
VL  - № 14 (489)
PY  - 1988///
CY  - М.
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 42-43
ER  -