TY  - BOOK
AU  - Гукетлев, Ю.Х.
TI  - Лазерная технология интегральных схем
SN  - 5-256-01033-6
PY  - 1991///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
N2  - Библиогр.: с. 249-274 (365 назв.)
ER  -