@book{6944174,
	author = {Дагман, Э. Е.},
	title = {Алгоритмическое и программное обеспечение для решения обратной задачи эллипсометрии для однослойной системы при вариации толщины пленки и угла падения света},
	publisher = {Ин-т физики полупроводников},
	year = {1987},
	series = {Препринт},
	address = {Новосибирск}
}