TY  - BOOK
AU  - Дагман, Э. Е.
TI  - Алгоритмическое и программное обеспечение для решения обратной задачи эллипсометрии для однослойной системы при вариации толщины пленки и угла падения света
T2  - Препринт
VL  - 14
PY  - 1987///
CY  - Новосибирск
PB  - Ин-т физики полупроводников
N2  - Библиогр.: с. 28
ER  -