@book{6954481,
	author = {Таруи Ясуо},
	title = {Основы технологии сверхбольших интегральных схем},
	publisher = {Радио и связь},
	year = {1985},
	address = {М.},
	note = {Загл. пер.: Основы технологии СБИС}
}