TY  - BOOK
AU  - Широпов, В.Я.
AU  - Пикуль, М.И.
AU  - Зеленков, В.А.
AU  - Достанко, А.П.
TI  - Современные технологические процессы в микроэлектронике
PY  - 1977///-
CY  - Минск
PB  - Б. и.
ER  -