TY  - BOOK
AU  - Детинко, М. В.
AU  - Медведев, Ю. В.
AU  - Петров, А. С.
TI  - Физические основы неразрушающего СВЧ-резонаторного метода локального контроля электрофизических параметров полупроводников
T2  - Препринт
VL  - № 3
PY  - 1988///
CY  - Томск
PB  - Изд-во Том. ун-та
N2  - Библиогр.: с. 27-29 (29 назв.)
ER  -