TY  - BOOK
AU  - Чулков, В. П.
TI  - САПР оборудования и технологии производства СБИС
SN  - 5-94506-034-8
PY  - 2003///
CY  - М.
PB  - Моск. гос. ин-т элекроники и математики
KW  - Сверхбольшие интегральные схемы
KW  - Производство
KW  - Технологические процессы
KW  - САПР
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661378622
KW  - З844.15-06-642-02-5-05я73-1
N2  - Библиогр.: с. 179 (26 назв.)
ER  -