TY  - BOOK
AU  - Быдин, Ю.Ф.
AU  - Хижа, Г.С.
TI  - Электронно-ионные методы субмикронной технологии
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 1101Вып. 1
PY  - 1985///
CY  - М.
PB  - ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 38-40
ER  -