TY  - BOOK
AU  - Шубарев, В. А.
ED  - Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
TI  - Основы микросистемотехники
SN  - 978-5-8088-0335-0
PY  - 2008///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - ГУАП
KW  - Микросистемная техника
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - RU\NLR\auth\661410277
KW  - Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Учебник для высшей школы
KW  - функциональная микроэлектроника
KW  - микроминиатюрные функциональные устройства
KW  - преобразователи физических параметров среды
KW  - З844.1я73-1
KW  - rubbk
N2  - Библиогр.: с. 194-195 (27 назв.)
ER  -