TY  - BOOK
AU  - Карацюба, А.П.
AU  - Тимашева, Т.П.
TI  - Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 1092Вып. 1
PY  - 1985///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 30-37
ER  -