TY  - BOOK
AU  - Филачев, А. М.
TI  - Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования
PY  - 1997///
CY  - М.
KW  - Физико-математические науки - Физика. Астрономия -
KW  - 01.04.04
KW  - oksvnk
N2  - Библиогр.: с. 51-55
ER  -