TY  - BOOK
TI  - Физические и физико-химические основы ионной имплантации
PY  - 1998///
CY  - Н. Новгород
PB  - ННГУ
KW  - Ионная имплантация
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - RU\NLR\auth\66473928
KW  - Ионное легирование - Физико-химические основы
KW  - 621.7/.9.048.7:544(043.2)
KW  - 3
KW  - rus
KW  - 55
KW  - rugasnti
KW  - 34.5
KW  - rubbk
KW  - В373.1я431
N2  - Библиогр. в конце докл
ER  -