TY  - BOOK
ED  - Межведомственное науч.-техн. совещание по метрике полупроводниковых структур
TI  - Методы измерения и аппаратура для промышленного контроля качества полупроводниковых структур
T2  - Министерство электронной промышленности СССР. ЦНИИ "Электроника". Тезисы докладов и рекомендации конференций, совещаний и семинаров
VL  - Вып. 19Вып. 1
PY  - 1973///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр. в конце статей
ER  -