TY  - BOOK
AU  - Бункина, Н.А.
AU  - Буданова, Н.С.
TI  - Химические аспекты микроэлектроники
PY  - 1988///
CY  - М.
PB  - МАИ
N2  - Библиогр.: с. 70 (5 назв.)
ER  -