@book{7318233,
	author = {Рувинова, Э.И.},
	title = {ЧИСТЫЕ помещения в микроэлектронном производстве и условия в них труда},
	publisher = {НИИЭИР},
	year = {1992},
	series = {Радиоэлектроника за рубежом},
	address = {М.},
	note = {На обл. только загл. сер.}
}