TY  - BOOK
AU  - Рувинова, Э.И.
TI  - ЧИСТЫЕ помещения в микроэлектронном производстве и условия в них труда
T2  - Радиоэлектроника за рубежом
VL  - Вып. 4 (60)
PY  - 1992///
CY  - М.
PB  - НИИЭИР
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -