TY  - BOOK
AU  - Валиев, К.А.
AU  - Ковтун, Б.Н.
AU  - Махвиладзе, Т.М.
TI  - Решение задачи оптимизации электронно-литографического процесса
T2  - Препринт
VL  - № 209
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 25
ER  -