TY  - BOOK
AU  - Гранкин, И.М.
AU  - Коломейко, А.В.
AU  - Погребняк, В.П.
TI  - Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
T2  - Ученые вузов - производству
PY  - 1983///
CY  - Киев
PB  - Вища школа. Изд-во при Киев. ун-те
N2  - Библиогр.: с. 49-52 (45 назв.)
ER  -