TY  - BOOK
AU  - Зеленская, Н.В.
AU  - Князев, В.Н.
AU  - Коновалов, Н.Н.
TI  - Тексты лекций по микросхемотехнологии больших интегральных схем
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - МАИ
N2  - Библиогр.: с. 31 (9 назв.)
ER  -