@book{7366065,
	author = {Зилинг, К. К. and Солдатенков, И. С.},
	title = {Измерение глубины рельефа фазовых киноформных структур},
	publisher = {Ин-т физики полупроводников},
	year = {1988},
	series = {Препринт},
	address = {Новосибирск}
}