TY  - BOOK
AU  - Зилинг, К. К.
AU  - Солдатенков, И. С.
AU  - Терпугов, Н. В.
TI  - Измерение глубины рельефа фазовых киноформных структур
T2  - Препринт
VL  - № 28
PY  - 1988///
CY  - Новосибирск
PB  - Ин-т физики полупроводников
N2  - Библиогр.: с. 25
ER  -