TY  - BOOK
AU  - Лещуков, Б.Е.
AU  - Дворников, А.А.
ED  - Московский энергетический институт
TI  - Методические указания по использованию оборудования лаборатории микроэлектроники
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 28
ER  -