TY  - BOOK
AU  - Иванов, С. А.
TI  - Источники излучения для рентгеновской литографии
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 1372Вып. 3
PY  - 1988///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 30-34
ER  -