TY  - BOOK
AU  - Вильямс, Д. С.
AU  - Снитко, О. В.
TI  - Ионная имплантация и лучевая технология
SN  - 5-12-009334-5
PY  - 1988///
CY  - Киев
PB  - Наукова думка
N2  - Библиогр.: с. 327-353; Предм. указ.: с. 354-358; Перевод изд.: Ion implantation and beam processing (Sydney etc., 1984)
ER  -