TY  - BOOK
AU  - Корнажински, К.
TI  - Использование молекулярных и многозарядных ионов в процессе ионного легирования
T2  - Препринт
VL  - 13-88-621
PY  - 1988///
CY  - Дубна
PB  - ОИЯИ
N2  - Библиогр.: с. 9-10 (10 назв.)
ER  -